技术编号:17326790
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种超薄滤光片薄膜制备方法。背景技术现有的超薄光学滤光片薄膜制作过程中,由于产品在主膜系设计时已经明确计算出该膜层厚度较厚,膜层厚度越厚所产生的应力会越大,应力的增大会导致超薄玻璃基板发生形变,甚至在成膜过程中破碎,所以在制作超薄光学滤光片的常规方案为:用3.0mm厚玻璃基板进行主膜系的镀制,3.0mm玻璃由于厚度较厚,成膜过程中可以有效吸收应力,所以成膜完成后玻璃基板不会发生形变,镀膜完成后再通过研磨加工工艺将3.0mm玻璃基板减薄到0.15mm。上述工艺存...
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