技术编号：17354982
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。2017年10月2日在韩国知识产权局提交的题为“压印设备”的韩国专利申请第10-2017-0128512号通过引用全部结合于此。技术领域本公开涉及一种压印设备。背景技术随着显示装置的尺寸增加，对于基板上的大面积精细图案来说具有均匀的质量已变得重要。在形成这种大面积精细图案的工艺中使用纳米压印光刻法。在纳米压印光刻法中，在将光固化树脂涂覆在基板上之后，将紫外光照射到其上，同时将具有与精细图案对应的凹凸图案的印模压到光固化树脂上以使光固化树脂固化。然后，印模与其分离以形成精细图案。发明内容根据本公开...
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