技术编号：17387413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电检测技术领域，尤其涉及一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法。背景技术椭偏仪的原理是利用确定偏振状态的光照射样品，通过测量反射光的偏振状态来推算样品的光学特性的设备。椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏，且不需要真空，使椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。椭偏仪测量反射率Rp和反射率Rs的复数比率，其中Rp为P偏振光反射率，Rs为S偏振光反射率。Rp和Rs都是复数，其值的大小与材料的光学常数、波...
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