技术编号：17437634
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及抗静电装置技术领域，更具体地说，本发明涉及一种芯片抗静电装置。背景技术随着集成电路的迅速发展,特别是数模混合电路的广泛应用，芯片制造需要一个无静电、无尘的环境，工作台就能提供这样一个环境。目前，国内的大部分制造公司都只采用进口的工作台，而国内自主研发的工作台从工艺、技术都落后于国外。抗静电功能是工作台必要的需求，研发具有高抗静电能力的工作台是迈进技术创新的重要一步。然而，芯片在加工的过程中，静电已成为导致集成电路内部损伤的严峻性问题,它常常在制作工艺过程中形成，给芯片的制造和设计带来了...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。