技术编号:17491226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金刚石表面结构及其制备方法。背景技术由于金刚石具有极高的硬度、热导率、绝缘性、光透过率,以及耐酸、耐热、耐辐射等优异的物理、化学性能,被广泛地应用于工业、科研等各领域。同时由于金刚石极高的硬度以及化学稳定性,在金刚石表面制备微纳米结构非常困难。目前,金刚石表面微纳米结构制备目前通常采用的方法是在金刚石表面制备耐刻蚀掩模,通过干法刻蚀去除没有掩模保护的区域的金刚石,制备得到金刚石微纳米结构。但这样的方法制备得到的金刚石微纳米结构,底部不平整,外表形貌粗糙,无法制备复杂结构。专利文献C...
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