技术编号：17546875
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种纳米压印装置，尤指一种辊型紫外纳米压印装置，属于微纳制造技术领域。背景技术纳米压印技术由华裔科学家周郁于1995年提出，因其相较于传统光刻技术，能够实现廉价、快速的制造微纳图案，因此在半导体、生物工程等方面具有很大的市场前景。发明内容对于纳米压印技术，无论是平面对平面纳米压印、辊对平面纳米压印，还是辊对辊纳米压印，控制模板与衬底之间的对齐和共形接触都是显得尤为重要，模板与衬底间的共形接触关乎着纳米压印的图案精度，模板和衬底之间能否精准对齐则决定了模板压印的图案是否会产生偏移，也增加...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。