技术编号:17580343
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体传感器及制备和使用方法,尤其是一种P型金属氧化物气体传感器及其制备和使用方法。背景技术具有体积小、功耗低、灵敏度高、硅工艺兼容性好等优点的金属氧化物半导体气体传感器已广泛地应用于国民经济的各行业和军事、科研等领域。然其选择性差是制约应用的最大障碍:传统的恒温测试——静态或动态获得吸附气体分子的特征参数(灵敏度、响应/恢复时间)太少,不足以区分气体分子的种类。为解决这一问题,人们试图对单个气体传感器进行变温下的热调制,通过解析单个传感器对不同气体分子的热调制信号,结合快速发展的人...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。