一种大数值孔径光学自由曲面点衍射零位干涉检测系统的制作方法技术资料下载

技术编号:17627177

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本发明属于光学测量技术领域,特别是一种大数值孔径光学自由曲面点衍射零位干涉检测系统。背景技术光学自由曲面是指不具有旋转对称性的、不规则的光学曲面。在1954年,美国的Luis W.Alvarez将光学自由曲面应用到医学中的眼科变焦镜头(Alvarez,Luis W.″Two-element variable-power spherical lens.″U.S.Patent No.3,305,294.21Feb.1967.),这是光学自由曲面首次在成像光学系统中的应用。随着国防技术、航空航天、空间...
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