技术编号:17631894
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及直拉法生产单晶硅设备技术领域,特别涉及一种掺杂剂掺杂装置。背景技术目前,拉单晶掺杂时需将整个装籽晶夹头取下,然后再将掺杂工装挂至重锤上,进行掺杂。因硅料化完后温度很高,籽晶夹头的温度随之很高,人员操作时需佩戴耐高温手套,很不方便,并且掺杂结束后,需重复操作将籽晶装入重锤上,二次反复操作对籽晶造成很大的破坏,增加了籽晶破裂的几率,从而影响拉晶。发明内容有鉴于此,针对上述不足,有必要提出一种操作安全、不需要反复拆卸掺杂工装的掺杂剂掺杂装置。一种掺杂剂掺杂装置,所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹...
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