技术编号：17657285
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密机械领域，特别涉及一种主动抑制寄生运动原理压电驱动器回退运动的装置与方法。本发明从原理上解决了寄生运动产生回退的问题，实现无回退的理想步进运动，便于后续精密控制。可用于精密定位、精密测量、精密光学、精密/超精密加工等领域实现高精度的直线定位。背景技术随着对微/纳米加工、定位、测量等需求的提升，高精度定位平台的需求日益迫切。利用压电材料制成的压电叠堆，给其施加一定的驱动电压，在其逆压电效应作用下，可产生微纳米尺度的位移。所以，压电驱动技术因其高分辨率、响应速度快、能耗较低等优点，得到...
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