技术编号:17676567
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种加热电源,尤其是涉及一种可应用于CVD化学蒸汽沉积炉上的加热电源,属于电源技术领域。背景技术目前,在真空电镀工艺中、铝氧化操作工序中、以及CVD化学蒸汽沉积炉等工艺和装置中都需要用到的大功率的加热电源,尤其是CVD化学蒸汽沉积炉上,由于沉积工艺精度的要求,不但要求电源功率大,而且要求其能提供稳定可靠的电流电压输出,否则无法保证硅基片上化学镀膜的均匀性;而常规的大功率加热电源,由于在使用过程中会产生大量的热量,常规的风冷结构无法有效的进行散热,因此电源内部各个电器件的温度将大幅上...
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