技术编号：17703945
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光学元件洁净控制领域，具体涉及一种用于光学元件在线表面洁净监测和处理的装置。背景技术高功率固体激光装置的建造需要数量巨大、种类繁多的光学元件，以NIF为例，全装置共包含7460块大口径光学元件(0.5～1.0m)，使其不仅成为世界最大的激光器，也是迄今为止最大的光学系统。激光装置在高通量运行条件下，光学元件表面的颗粒污染物在强激光的作用下会诱导损伤，是导致局部破坏的主要因素。因此，去除光学元件表面的颗粒污染物是保证元件安全使用、维持激光装置高通量稳定运行的有效措施。根据装置运行维护...
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