技术编号：17722922
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法、及有机EL显示器的制造方法。背景技术使用了蒸镀掩模的蒸镀图案的形成通常通过使设置有与蒸镀制作的图案对应的开口部的蒸镀掩模和蒸镀对象物密合，使从蒸镀源放出的蒸镀材料通过开口部并附着于蒸镀对象物而进行。作为用于上述蒸镀图案的形成的蒸镀掩模，已知有例如将具有与蒸镀作成的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模、具有金属掩模开口部(有时也称为缝隙)的金属掩模层叠而成的蒸镀掩模(例如，专利文献1)等。另外，还已知有金属制蒸镀掩模(荫罩)(例如，专...
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