一种研磨装置的制作方法技术资料下载

技术编号:17750769

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本实用新型涉及集成电路封装领域,尤其是一种研磨装置。背景技术破坏性物理分析是可靠性工程使用的元器件质量保证重要方法之一,主要用于元器件批质量的评价,也适用于元器件生产过程中的质量监控。可发现在常规筛选检验中不一定能暴露的问题,这些问题主要是与产品设计、结构、装配等工艺相关的缺陷。由于破坏性物理分析技术有这样的技术特点,因此,对军用电子元器件开展DPA,可以把问题暴露于事前,有效防止型号工程由于电子元器件的潜在质量问题而导致整体失效。在整个分析环节中研磨是能够完整呈现样品结构,在现有的处理技术中容...
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