技术编号：17750818
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于机械加工平面研磨设备技术领域，涉及一种平面研磨精密定尺寸装置。背景技术平面研磨质量主要包括几何方面和物理方面两部分，其中几何方面偏差可分为：(1)几何尺寸偏差，即平面研磨工件的厚度偏差；(2)几何形状偏差，主要是指表面粗糙度、波纹度及微观形貌等。物理方面主要包括塑性变形、加工硬化、相变、残余应力、晶间腐蚀和选择性腐蚀等方面内容。在机械加工中，通常按加工精度划分为常规加工、精密加工及超精密加工。目前将加工尺寸精度在0.1～1μm、表面粗糙度Ra在0.01～0.1μm之间的加工方法称为...
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