具有多边形电感元件的半导体装置的制作方法技术资料下载

技术编号:17848539

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本揭露实施例是有关一种具有多边形电感元件的半导体装置。背景技术半导体产业通过不断减小最小装置大小来不断提高各种电子组件(例如电感器)的集成密度,其允许更多组件集成到给定区域中。电感器具有形成为螺旋或环圈形状的一或多个导电路径或匝。导电匝通常形成为圆形或螺旋形状。电感器的性能由质量因数或“Q”界定。电感器的寄生电容及寄生电阻会影响电感器的质量因数。然而,减小电感器的寄生电容及电阻面临诸多挑战。发明内容本揭露的一实施例涉及一种半导体装置,其包含:多边形电感元件,其安置于衬底上的第一层上,所述多边形电...
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