技术编号：17880575
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光声成像领域，尤其涉及超声传感器和微机电超声传感器以及包含超声传感器和微机电超声传感器的光声成像装置。背景技术电容式微机电超声传感器(CMUT)是一种有着广泛用途的静电超声传感器。超声传感器可以在液体、固体和气体等多种介质中工作。超声传感器已经应用在医药诊断和治疗、无损伤材料测试、声纳、通讯、接近传感器、流量测量、实时工艺控制、超声显微镜等领域中。与广泛应用的利用压电陶瓷(PZT)技术制造的传感器比较，电容式微机电超声传感器在制造工艺、频谱带宽以及工作温度等方面都有很大的优势。例如，用...
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