技术编号:17934861
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于MEMS传感技术领域,更具体地,涉及一种自平衡式变面积阵列电容位移检测装置及方法。背景技术MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)传感器就是使用微电子技术加工制造的传感器,具有体积小、重量轻、能耗低等优点。MEMS阵列电容传感结构是典型的“三明治式”结构。通过上盖、下盖、弹簧振子膜片的封装,在弹簧振子质量块与上盖板之间形成阵列电容结构,振子质量块在敏感轴方向上的移动,形成变面积式电容设计。外界检测目标的变化转化为质量块与外框参考系的相对位置变化,完成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。