技术编号：17987777
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及测试设备领域，尤其涉及自适应调节探针。背景技术基板测试设备测试方式为接触式测试，信号发生器通过与探针栏连接的探针载具上的探针组件与TFT基板直接接触进行信号加载。实际测试过程中，由于探针栏为金属材质，长期使用过程中会出现或多或少的变形，其次是探针载具的安装也会存在一定的误差，或者探针安装存在安装误差，这些原因都会导致实际探针的下降高度过低，探针与TFT基板之间的接触变为刚性接触，或者是压力大于预期的柔性接触，存在扎伤TFT基板的风险。当处于气缸下降状态时探针针头与基板接触，探针被一...
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