技术编号:18090222
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体器件加工技术领域,尤其涉及一种晶闸管门极辐照支架。背景技术晶闸管在制作过程中,根据不同客户的要求,需要对晶闸管进行门极辐照,这样能够改变晶闸管的电学性能,提高门极的触发电流;在辐照过程中,通常都是直接将晶闸管芯片放置在光源中,这样无法保证精确度。授权公告号为:CN 2177292Y的实用新型公开了一种利用辐照处理半导体器件、特别是晶闸管的一种起辅助作用的卡具;它由开有孔洞的面板、底板、弹性软垫、橡胶薄层、铰链、锁扣组成,使用时,射线只从孔洞通过辐照晶闸管的控制极及附近区域,其...
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