技术编号:18140278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种高低真空气氛隔离装置。背景技术在真空镀膜领域,镀膜基片需要从低真空到高真空、高真空到低真空的转换来完成镀膜进料与镀膜出料的过程,其中有效隔离高真空与低真空气氛的装置就是转板阀,传统的转板阀装置简单,通过电机正反转配合齿轮完成气氛隔离,但在镀膜工序如此反复循环的条件下,齿轮会有磨损,从而影响转板的到位角度,机械转动的部位较多,容易导致零部件松动,这些将会导致密封性能变差、漏气,从而影响真空度,并且,转板的运动时间、速度不可调,全由电机控制,齿轮的机械转动...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。