技术编号:18203977
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太赫兹和半导体微加工技术领域,具体指一种基于半绝缘砷化镓(SI-GaAs)聚酰亚胺(Polyimide)表面采用镂空的东正教东正教十字架型谐振单元的太赫兹(THz)带通滤波器的设计与制作。背景技术在天体物理中反映银河系中冷中子气体的物理行为需要追踪碳离子的精细结构特征谱线:158μm/1.9太赫兹(THz)。为了获得高清晰度的THz天文图像,就必须拥有高灵敏度的THz天文探测装置。目前,利用超导相变而引起热阻抗变化原理探测宇宙THz辐射的超导边缘跃迁传感器(TES)和通过微波激发Coo...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。