技术编号:18210652
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域,具体涉及一种干燥炉加热模组。背景技术HIT及HJT结构的太阳能电池就是晶体硅片上沉积一层非掺杂氢化非晶硅薄膜和一层与晶体硅掺杂种类相反的掺杂氢化非晶硅薄膜,改善了P-N节性能,具有更高的转换效率和更低的光致衰减。在现有的太阳能电池制备工艺中,通过加热灯管发出的热量直接加热烘干硅片,这种加热烘干方式,热风直接作用于硅片,而且硅片受热不均匀,从而会对硅片的性能造成一定的影响。实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术中的问题提供一种改进的干燥炉加热模组。为达到上...
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