技术编号：18211395
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电驱动技术领域，尤其涉及一种闭环控制压电驱动在线监测装置。背景技术随着精密仪器领域的迅速发展，对于精密位移驱动提出了更高的要求。纳米机器人，新型纳米材料的力学行为表征，精密定位装置等前沿领域都需要大量使用压电驱动装置。目前，压电驱动装置可分为谐振式和非谐振式。其中，谐振式压电驱动装置具有较大的驱动力，但位移分辨率较低，无法实现精确定位。非谐振式压电驱动装置可以实现较高的位移分辨率，但是驱动力较小。以上两者均是开环控制，在位移多次进给时，将会形成误差的累积，无法保证实际位移与理论值相符...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。