技术编号：18235809
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜物质沉积技术领域，尤其涉及一种沉积装置以及沉积方法。背景技术原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层地镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处，但是，原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。电致发光二极管(OLED或QLED)相比于薄膜晶体管有源驱动液晶显示器具有自发光、对比度高、视角广、响应速度快、使用温度范围广以及可弯折性等优异的特性，被广泛认为是下一代显示的核心技术。但是由于电致发光二极管对水...
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