技术编号:18294442
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微机电系统(MEMS)技术领域中的换能器领域,特别是涉及一种具有高信噪比、高灵敏度的压电超声波换能器。背景技术压电超声波换能器是一种既可以将电能转换为机械能,又可以将机械能转化为电能的集收发超声波为一体的器件。传统的超声波换能器采用机械加工的方式,其体积大、功耗高、不利于集成化,且由于其声阻抗与传统声传递介质(空气、水)不匹配,其声发射效率较低。结合微机电系统技术采用的微制造工艺加工出的微机电超声波换能器则有效的克服了上述缺点。微机电超声波换能器按其工作原理可主要分为微机电电容式超...
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