技术编号：1831046
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于功能陶瓷材料及其制造。特别涉及利用电泳沉积法与溶胶浸润法相结合的两步法在导电性基板制备陶瓷厚膜的。背景技术 目前，随着信息技术的高速发展，电子器件正朝着微型机械或微型机电系统(MEMS)的方向发展。微型机电系统的重要组成部分是微驱动器，或称微型执行器，是一种重要的执行机构。它的主要功能是实现力和/或位移的输出。压电陶瓷具有机电、声、光、热、弹性等多种功能及耦合效应，可以用作压力、温度、光等多种传感器，压电驱动器又具有位移控制精度高、响应快、驱动力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。