一种两级复合大行程高精度快速反射镜的制作方法技术资料下载

技术编号:18358944

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本发明涉及快速控制反射镜领域,尤其涉及一种两级复合大行程高精度快速反射镜。背景技术快速反射镜是位于光源发射端和接收端之间,通过快速而精确地控制反射镜面的偏摆角度实现光束方向调整的一种先进光机电装置,是新一代信息技术及航空航天工程中的关键设备之一,广泛应用于天文望远镜、自适应光学、视轴稳定、激光通信、激光加工等需精密指向、跟踪和稳定的领域。随着信息技术、国防设备及航空航天工程技术的快速发展,开发大角度、高精度、高响应和高承载快速反射镜对现有技术提出了新的要求和挑战,现有基于音圈或压电驱动的快速反射...
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