技术编号：1838675
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件制造，具体涉及一种在微 波、臭氧环境下IT0玻璃的处理方法与装置。背景技术ITO ( Indium—Tin—0xide，铟锡氧化物的简称)膜透明 导电玻璃，具有低电阻率、高可见光率和高红外光反射率等优 良特性，已经被广泛应用于固态平板显示器件。应用于彩色显 示器的有机发光器件(0LED)具有优秀的图象质量，特别是在 亮度以及对比度等方面。近十年来，对OLED的研究得到广泛 的关注，对未来的图象显示技术带来无法估量的冲击。IT0的带隙较宽...
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