技术编号：18399797
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本公开内容的实施方式一般地涉及一种用于到达和始于基座或基板支撑件的基板传送的方法和设备，基板诸如太阳能面板基板、平板基板或半导体基板。背景技术在太阳能面板或平板显示器的制造中，采用许多工艺在诸如半导体基板、太阳能面板基板和液晶显示器(LCD)和/或有机发光二极管(OLED)基板之类的基板上沉积薄膜，以在基板上形成电子器件。沉积一般通过将前驱物气体引入具有设置在温度受控的基板支撑件上的基板的真空腔室中完成。前驱物气体通常被引导通过位于真空腔室的顶部附近的气体分配板。通过从耦接到腔室的一个或...
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