技术编号:18405851
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种线切割机床,尤其是一种换丝周期长的线切割机床,具体地说是一种大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床。背景技术碳化硅是一种多晶型化合物。在摄氏560度的高温下,碳化硅晶片没有冷却装置的情况下仍能工作运行,在航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势。碳化硅晶片是第三代半导体材料,具有禁带宽度大、临界击穿场强高、热导率高等优点,是制作高压、大功率半导体器件的理想材料。高质量大直径的碳化硅单晶极为重要,但是晶片加工则对晶片的表面质量起决定作用,其中把体块单晶切割成翘曲度小、厚度均匀、刀缝...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。