液刀的制作方法技术资料下载

技术编号:18408421

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本发明涉及一种显示面板的制程领域,尤指一种在显示面板制造过程中用以施加处理液体的液刀。背景技术在现有的薄膜晶体管(TFT)湿制程技术中,玻璃基板洗净或者显影时均须使用狭缝式液刀,使例如显影剂等均匀地流出并涂布在玻璃基板上。当狭缝式液刀通过螺丝进行固定后,液体经由狭缝式液刀喷洒玻璃基板产生飞溅,部分的液体会回溅到液刀上。经长时间作业时水汽会在液刀上凝结,液刀表面凝结的水珠受到重力作用又会向液刀口流动而影响液刀喷出的水帘(liquid curtain),导致水帘不均匀,造成显影后光刻胶(photor...
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