技术编号:18430539
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及砷烷的制备领域,具体而言,涉及一种电解制砷烷装置。背景技术砷烷电子气体在半导体行业、太阳能行业、LED行业、平板显示行业和光纤行业广泛使用,是一种剧毒气体、易燃易爆气体的气体。生产、储存、运输和使用砷烷电子气体过程都存在很大的风险。例如,LED行业使用的44L砷烷钢瓶,可以充装砷烷电子气体为23.5kg,若这些气体泄露可以形成方圆为一平方公里高为3米毒云,在这范围内接触本毒云的人类在14天之内的死亡率为50%。尽量减少使用和储存液态砷烷钢瓶气是减少危险途径。电解制法砷烷可以避免大量...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。