技术编号：18482926
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及灯具技术领域，尤其涉及一种发光二极管条状平板灯具。背景技术由于半导体产业需使用短波长的光线进行微影蚀刻等工艺，该微影工艺在无尘室中使用的曝光步骤的光波长具有一特定波长。为了防止该曝光步骤受到外部光线的影响，无尘室内所使用的照明灯具必须不包含该特定波长的光线，以免造成光阻在未进行微影蚀刻时预先曝光，导致整片晶圆报废。因为该照明灯具照产生的光线大致呈现黄色，所以该工艺通常被称为黄光微影工艺。半导体产业大量使用泪滴灯(teardrop)的灯具进行照明。灯具数量庞大，且点灯时间极长，灯具需...
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