技术编号：18507510
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及涂层沉积设备技术领域，尤其是涉及一种热丝化学气相沉积用基片台及热丝化学气相沉积装置。背景技术热丝化学气相沉积装置是用于实现热丝化学气相沉积法沉积制备薄膜或者涂层的设备，其工作原理是利用金属钨或者钽丝为电热丝，通过给该电热丝通入大电流而使之产生大量的热，反应气体经过足够高温的电热丝时发生热解离，在其周围形成活跃的原子团或原子自由基，并进一步在相对温度较低的基底材料上发生化学反应从而沉积成膜。目前，采用现有的热丝化学气相沉积装置沉积得到的薄膜或者涂层的形核密度较为均匀，若想得到形核密度...
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