物理量传感器和半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:18549238

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本公开内容涉及物理量传感器和半导体器件。背景技术传统上已知物理量传感器,其包括(i)传感器芯片,其具有用于输出对应于物理量的信号的传感器部分,(ii)支撑构件,其上安装有传感器芯片,(iii)粘合层,其设置在支撑构件上并支撑传感器芯片,以及(iv)导线,其电连接到传感器芯片。这种物理量传感器包括专利文献1中描述的传感器。专利文献1中描述的物理量传感器具有如下配置,其中具有传感器部分的传感器芯片作为支撑构件安装在基板上,其间插入有粘合层,并且导线在传感器芯片的与面向粘合层的一个侧面相对的另一侧面上...
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