技术编号：18599373
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种探针组件及其探针结构，尤其涉及一种应用于晶圆探针卡的探针组件及其探针结构。背景技术首先，现有技术的悬臂式探针卡主要是通过人工的方式将探针逐一焊接在印刷电路板上，同时，通过一粘着物(例如环氧树脂)将探针固定。例如，TW I447397所公开的“探针卡”专利案，其探针33即是利用包含有环氧树脂的固持部36而固定在电路板34上。但是，上述现有技术中，当环氧树脂硬化后，会使得悬臂式探针卡变得不易维修。换句话说，当其中一根探针损坏时，现有技术的悬臂式探针卡并无法单独替换该损坏的探针，必须将整...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。