技术编号:18601371
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求名称为“ACTIVE WORKPIECE HEATING OR COOLING FOR AN ION IMPLANTATION SYSTEM”、申请日为2017年1月10日、申请号为62/444,620的美国临时申请的权益,其全部内容通过引用并入本文。技术领域本发明总体上涉及工件处理系统以及处理工件的方法,更具体涉及在离子注入系统中利用同一静电夹盘以多种模式控制工件温度的系统和方法。背景技术在半导体处理中,可以对工件或半导体晶片执行诸如离子注入等许多操作。随着离子注入处理技术的进步,可...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。