技术编号：18626555
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种载板结构，特别涉及一种融入针板结构的高精度载板装置。背景技术在芯片制造工艺中，需要对芯片进行测试，其在小尺寸芯片的测试中，由于小尺寸芯片的针点距离小，其对位难以控制，一般采用人工测试，其测试效率低，返工率高；虽然也存在有芯片测试设备，但其结构复杂、体积大并且无法准确完成对针点距离小的芯片的测试。发明内容本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种结构简单、实用性强、测试精度高并且能适用于针点距离小的芯片产品测试的融入针板结构的高精度载板装置。本发明所采用的技术方案是：本...
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