技术编号：18641182
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及促动器以及光扫描装置。背景技术一直以来，公知一种光扫描装置，其使用将在压电薄膜的上表面形成有上部电极、并在下表面形成有下部电极的压电元件作为驱动源的促动器，使反射入射光的反射镜部绕旋转轴旋转，来扫描反射光。在该促动器中，为了对压电薄膜施加电压，形成有与上部电极连接的上部布线、和与下部电极连接的下部布线(例如参照专利文献1和专利文献2)。上述的促动器具有用于使反射镜部绕旋转轴旋转的MEMS构造体，MEMS构造体在厚度方向上较大地变形。作为MEMS构造体，为了确保表面的面内方向的刚性并且降...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。