技术编号:1868468
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种地板,尤其涉及一种洁净室通风孔地板。 背景技术在液晶面板制造的过程当中,为提高液晶面板的质量,必须建造高洁净度的超净车间,一般而言,超净间为多层建筑,顶部安装供风风机,中间层为工作间,下层为回风空间。洁净间工作时,顶部供风风机将过滤后的空气向下吹到工作间,气流通过工作间,从工作间底部带孔地板穿过,到达下层回风空间,然后由回风装置循环到顶层供风区,实现气流循环。。洁净室工作间地板的通风孔通常采用圆孔等形状,工程技术人员在进行生产作业时,经常...
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