技术编号:1870117
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片清洗工装领域,具体为一种硅片夹具结构。 背景技术硅棒胶粘于连接件,通过连接件固定于切割机,然后进行硅片的切割,切割完成后需要将硅片进行清洗,此时已切割好的硅片仍胶粘于连接件上,以往是将切割好的硅片与连接件一起人工搬运至清洗工位,工作效率低,且在搬运过程中的碰撞会导致硅片的损坏。 现在业内用的硅片夹具结构如图1所示,其包括加强板6,加强板6横向两端分别对称安装有弯板3,弯板3的纵向两端分别焊接有圆杆1,圆杆1两端套装有限位环7 ;加强板6中...
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