技术编号:1872632
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种夹持装置,尤其涉及ー种硅单晶棒截断用夹持装置。背景技术半导体硅单晶体大部分是用切克劳斯基法(Zochralski)制造的。在这种方法中,将原料多硅晶块放入石英坩埚中,在单晶炉中加热融化,再将籽晶浸入融液中,在合适的温度下,融液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体。把晶种微微的旋转向上提升,融液中的硅原子会在形成的单晶体上继续结晶,并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定,就可以周而复始的形成结...
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