技术编号:18738981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微/纳米级微器件制备技术领域,尤其是指一种单纳米丝器件的制备方法。背景技术随着信息化的发展,各种小型化设备层出不穷,如微/纳卫星,MEMS系统等,小型化的微/纳器件对于国防领域的发展有着重要的作用。金属微/纳米丝在微/纳电子学、生物技术、太阳能电池、传感器技术、催化技术等领域有广泛的应用,这些应用在航天、航空、军备等国防领域均有着重要意义。具有微小尺寸、高比表面积的金属纳米丝是制备微/纳器件的理想材料。因此,微/纳尺度功能性材料的应用对于国防技术的进步已经是必不可少的一环。微/纳米丝的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。