热阻式气体传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:18866597

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本发明涉及一种热阻式气体传感器。背景技术热阻式传感器或探测器是具有电阻的传感器,电阻值随着温度可重复地改变。这种电阻也被称为热敏电阻,其中,分为具有正温度系数(PTC,正温度系数导体)的热敏电阻与具有负温度系数(NTC,热敏导体)的热敏电阻。正温度系数导体尤其包括金属,其中,优选使用铂和镍,并且作为非金属材料包括多晶体陶瓷,例如用在钛酸钡的基体上,还有具有杂质导电区的掺杂半导体,例如硅。热敏导体尤其包括在杂质导电区的区域之外的纯半导体或掺杂半导体,以及由金属氧化物构成的多晶半导体。在气体分析或医...
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