技术编号:18905065
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明构思涉及半导体器件及制造其的方法。背景技术半导体器件具有诸如小尺寸、多功能性和/或低制造成本的特性,从而被用于许多电子行业中。半导体器件可以包括存储数据的存储器件、计算-处理数据的逻辑元件、能够同时执行各种功能的混合元件等。由于电子工业的高度发展,半导体器件可以被高度集成,使得半导体器件变得小或精细,并且已经进行了各种研究以便在衬底的有限区域内集成更多诸如晶体管的器件。为了减小一个晶体管所占据的衬底的面积,已经提出了具有安装在衬底上的垂直半导体沟道的各种晶体管结构。该背景技术部分中...
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