技术编号：18972755
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超导量子计算领域，尤其涉及超导量子电路及其制备方法。背景技术高品质因数的谐振腔是超导量子电路中的关键要素之一。共面波导型谐振腔由于其紧凑的结构、灵活而简单的设计、易于与超导量子比特耦合、易于扩展等优势，在超导量子计算和电路量子电动力学研究中得到了广泛的应用。尽管共面波导型谐振腔的内部品质因数不如目前最高水平的三维谐振腔，但通过良好的材料和微加工工艺控制，其单光子水平下的内部品质因数能够达到百万以上的水平，能够满足高水平量子测量的要求。在最近的科学报道中，共面波导谐振腔被用于9个超导量子...
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