技术编号:19079766
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成了半导体激光器和光波导层的光半导体元件,特别涉及能够抑制有源层内的载流子密度的不均匀而使特性提高的光半导体元件。背景技术就光半导体元件而言,通过对半导体激光器与光波导、光合波器或者光调制器等进行集成,从而推进小型化以及高性能化。在这样的集成构造光半导体元件中,重要的是,向有助于发光的半导体激光器有效地注入载流子,得到足够的发光效率。因此,不向除了半导体激光器以外的光波导注入载流子是有效的。另一方面,通过向半导体激光器的有源层均匀地注入载流子,由此,阈值电流低,能够得到良好的特性。在...
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