一种双向可控硅静电保护器件的制作方法技术资料下载

技术编号:19212901

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本发明涉及静电防护领域,特别涉及一种双向可控硅静电保护器件。背景技术静电是自然界中的一种正常现象,同样也在ic制造、搬运和使用中无处不在,静电失效是ic设计者在ic设计中需要面临的一个重要问题。半导体器件特征尺寸遵循摩尔定律逐年减小,ic设计者能在有限的芯片面积内塞入更多的晶体管。更小的制程,更大的元件密度,将会带来更加艰巨的静电保护设计难度。二极管、三极管和场效应晶体管都是常用的静电防护器件,单向可控硅与其它静电保护器件相比,具有更高的单位面积泄放能力。因此单向可控硅器件的出现为在有限的芯片面...
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