一种温度传感器及陀螺仪的制作方法技术资料下载

技术编号:19224607

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本发明涉及温度检测领域,特别是涉及一种温度传感器及陀螺仪。背景技术温度传感器广泛应用于mems传感器中,例如应用于三轴陀螺仪以及三轴加速度计中,需要准确采集传感器芯片工作的温度信息通过数字算法进行温度补偿;现在六轴惯性系统中也需要多点检测温度数据进行温度检测,从而动态消除温度对惯性系统的影响。互补金属氧化物半导体温度传感器中,利用了晶体管的稳定温度特性,得到了广泛应用于推广。而现有最常见的方法是通过将随温度线性变化的电压或者电流通过adc(模数转换器)实现数字输出,但是这种方法通常会利用一个模拟...
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